shkolakz.ru 1
Особенности электронного строения и взаимодействия с излучением нанометрового диапазона структур типа кремний-на-изоляторе


Нестеров Дмитрий Николаевич

Аспирант первого года обучения

Воронежский государственный университет, физический факультет,

г. Воронеж, Россия

E-mail: diman-fizik89@rambler.ru

Методами ультрамягкой рентгеновской спектроскопии поглощения и эмиссии и рентгеновской дифракции проведено исследование структур типа кремний-на-изоляторе (КНИ) как с растянутым слоем кремния, так и с нормальным.

С использованием синхротронного излучения накопительного кольца SRC (Synchrotron Radiation Center, Университет Висконсин Мэдисон, Стоутон, США) были зарегистрированы спектры ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения XANES (X-ray absorption near edge structure) вблизи L2,3 края кремния. На лабораторном приборе РСМ-500 были зарегистрированы ультрамягкие рентгеновские спектры Si L2,3 эмиссионные спектры USXES (Ultrasoft X-ray emission spectra). Также были получены данные о параметрах решетки кремния методом рентгеновской дифракции на лабораторном приборе ДРОН-4-07 с кобальтовым анодом.

При регистрации спектров XANES аппаратурное уширение составляло 0,05 эВ, глубина анализа